Julat Perjalanan
20mm
Resolusi
0.125μm
Kebolehulangan
＜1μm
Kelurusan
＜2μm
Paralelisme
＜5μm
Pitching
10″（50μrad）
Menguap
Kelajuan maksimum
5mm/saat
Had muatan
10kg
Berat badan
1.5kg
